芯上微裝350nm步進(jìn)光刻機(jī)正式出貨
11月25日，上海芯上微裝科技股份有限公司（AMIES）宣布，其自主研發(fā)的首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)（AST6200）正式完成出廠調(diào)試與驗(yàn)收，啟程發(fā)往客戶。
據(jù)介紹，AST6200光刻機(jī)專為功率、射頻、光電子及Micro LED等先進(jìn)制造場(chǎng)景量身定制，可實(shí)現(xiàn)350nm高分辨率，正面套刻80nm，背面套刻500nm。該光刻機(jī)擁有高照度I-line光源（365nm）；高速直線電機(jī)基底傳輸系統(tǒng)，支持2/3/4/6/8英寸多種規(guī)格基片快速切換；高速高精度運(yùn)動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)，最大加速度1.5g，大幅提升單位時(shí)間產(chǎn)能。此外，AST6200光刻機(jī)還具備高產(chǎn)率設(shè)計(jì)、強(qiáng)工藝適應(yīng)性、100%軟件自主可控等亮點(diǎn)。
芯上微裝成立于2025年02月，專注于高端半導(dǎo)體裝備研發(fā)、生產(chǎn)和服務(wù)，主力產(chǎn)品為晶圓級(jí)先進(jìn)封裝光刻機(jī)、激光退火設(shè)備和前道晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備。
（JSSIA整理）